水母网2月6日讯（YMG全媒体记者 刘洁 通讯员 隋翔宇 邵康 肖傲）烟台黄渤海新区特色半导体产业传来一条“重磅”喜讯：日前，该区企业烟台万华电子材料有限公司（以下简称“万华电子材料公司”）正式对外宣布，该公司自主研发的高纯度乙硅烷实现规模化、稳定化量产。这标志着我国在高端电子特气领域又攻克了一项“卡脖子”关键技术。

乙硅烷系14纳米以下先进制程，尤其是存储芯片堆叠中的关键材料，以往长期依赖进口。作为万华旗下专业从事电子特气产品研发生产的企业，万华电子材料公司成立之初，就以乙硅烷为切入点，力求实现集成电路产业关键材料的国产替代。经过从小试、中试到产业化的持续艰苦探索，最终形成了具有完全自主知识产权的工艺包，并于2025年成功实现高纯乙硅烷的规模化稳定生产。

公开数据显示，万华电子材料公司自主研发的硅化镁法工艺，将乙硅烷合成率稳定提升至30%以上，量产产品的纯度超过99.998%（4.8N），目前该公司已建成全球单套产能最大的乙硅烷生产装置。

“万华电子材料公司实现高纯度乙硅烷自主量产，是解决半导体产业链‘卡脖子’环节的一项重要进展，也是‘技术—产业—市场’链路成功贯通的生动案例。”山东半导体行业协会秘书长孟祥玖评价说。当下，AI算力爆发驱动先进制程加速迭代，乙硅烷凭借在沉积温度、速率及薄膜质量上的优势，已成为3DNAND、FinFET等先进芯片结构的核心材料，市场前景被普遍看好。高纯度乙硅烷的自主量产，奠定了万华电子材料公司在国内电子特气行业的技术领先地位，使得其在未来竞争中占得先机。

“下一步，我们将继续扎根乙硅烷，拓展电子特气，并打造‘一站式’服务平台，在助力中国半导体产业发展的同时，加速拓展全球市场。”万华电子材料公司董事长王耀西表示。

万华电子材料公司的创新突破，也可谓黄渤海新区特色半导体产业快速发展的一个缩影。近年来，该区将特色半导体产业列为两大战略性新兴产业之一进行大力培育，聚焦光电半导体、功率半导体两大主攻方向，高标准打造园区载体，高效率推进项目建设，高质量搭建创新平台，高水平做优产业生态，目前已形成“材料—设计—封测—应用”的完整产业链条。2025年，该区特色半导体产业实现稳步增长。